硅片检测报告 硅片检测项目
硅片检测可以有效的检测硅片的基本性能,保证硅片的质量。微谱可以利用物理实验进行硅片的物理检测,大家可以去微谱了解一下硅片检测。目前我国高新科学技术不断发展,硅片的使用也不断增加,所以对硅片的基本性能要求越来越高,所以对硅片的检测要求也在不断的提高。下面微谱小编就简单的介绍一些硅片检测的相关知识,大家可以认真学习一下。
硅片检测范围
单晶硅片、太阳能硅片、多晶硅片、半导体硅片等。
硅片检测项目
质量检测、厚度检测、隐裂检测、工业问题诊断、表面有机物检测、电阻率检测、压阻系数、表面粗糙度检测、反射率检测、翘曲度检测、微量元素检测、碳氧含量检测、结晶度检测等。
硅片检测标准
1、GB/T 40110-2021 表面化学分析 全反射X射线荧光光谱法(TXRF)测定硅片表面元素污染
2、GB/T 39145-2020 硅片表面金属元素含量的测定 电感耦合等离子体质谱法
3、GB/T 29055-2019 太阳能电池用多晶硅片
4、GB/T 37051-2018 太阳能级多晶硅锭、硅片晶体缺陷密度测定方法
5、GB/T 34479-2017 硅片字母数字标志规范
6、GB/T 32280-2015 硅片翘曲度测试 自动非接触扫描法
7、GB/T 30860-2014 太阳能电池用硅片表面粗糙度及切割线痕测试方法
8、GB/T 30859-2014 太阳能电池用硅片翘曲度和波纹度测试方法
9、GB/T 30869-2014 太阳能电池用硅片厚度及总厚度变化测试方法
硅片检测方法
1.揭开蓝色的保护薄膜
在单晶硅片的表面有一层保护塑料薄膜,可以通过镊子将其揭开。
2.测量电阻
使用万用表表笔直接触碰硅片的表面,可以测量到硅片的电阻;
3.使用丙烷喷火枪加热
使用丙烷喷火枪对硅片进行加热,可以使其变红。冷却之后,肉眼观察不到明显的变化。这是否可以认为其表面已经有了一层氧化膜的存在了。
硅片检测可以保证芯片正常的运行,同时有利于硅片的开发和使用,目前硅片主要是运用于芯片制造,所以对硅片的性能要求非常的严格。硅片检测可以保证硅片的基本性能,同时也可以探索出硅片更多的其它性能,有利于硅片的生产,制造和使用,为进一步提高硅片性能提供帮助。